スパッタリング装置
![](images/banners/利用設備/スパッタリング装置.jpg)
ANELVA L-250S-FH
@15号館石川研究室
段差計
![](images/banners/利用設備/膜厚測定装置.jpg)
SLOAN DEKTAK3030
@ハイテクプラザ
リアクティブイオンエッチング
![](images/banners/利用設備/リアクティブイオンエッチング.jpg)
SAMKO
@66号館クリーンルーム
スピナー
![](images/banners/利用設備/スピナー.jpg)
KOTOWARKEN K-35951
@66号館クリーンルーム
アニール炉
![](images/banners/利用設備/アニール炉.jpg)
Koyo
@15号館石川研究室
XRD
@65号館・東北大学
コンタクトアライナー
@66号館クリーンルーム
ナノスペック
@66号館クリーンルーム
ダイサー
@ハイテクプラザ