スパッタリング装置

ANELVA L-250S-FH

@15号館石川研究室

段差計

SLOAN DEKTAK3030

@ハイテクプラザ


リアクティブイオンエッチング

SAMKO

@66号館クリーンルーム

スピナー

KOTOWARKEN K-35951

@66号館クリーンルーム


アニール炉

Koyo

@15号館石川研究室

XRD

@65号館・東北大学

コンタクトアライナー

@66号館クリーンルーム

ナノスペック

@66号館クリーンルーム

ダイサー

@ハイテクプラザ